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法国阿尔卡特ASM142氦质谱检漏仪
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产品名称:
法国阿尔卡特ASM142氦质谱检漏仪
产品型号:
ASM142
产品厂商:
其它品牌
简单介绍
SM142氦质谱检漏仪是法国ALCATEL公司*新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。该检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
法国阿尔卡特ASM142氦质谱检漏仪的详细介绍
简介:
ASM142氦质谱检漏仪是法国ALCATEL公司*新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。
该检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
符合美国真空标准AVS2.1 以及国际标准ISO3530的标准。内置式标准漏孔,带自动温度补偿系统。开机5分钟后完成全部准备工作,可以开检。数显工作界面;数字显示漏率,带音频报警。所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护:防止大气突然冲入。
技术规格:
| 灵敏度: | 3.0×10-11mbar.l/s |
| 漏率显示范围: | 2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
| 达到检漏的时间(空盒时): | 小于30秒 |
| 发射电流显示: | 0.2—2mA |
| 检漏口对氦气的抽速: | 1.3升/秒 |
| 启动时间: | 小于5分钟 |
| 接口尺寸: | DN 25 KF |
| 外观尺寸: | 510´343´428mm |
| 重量: | 56Kg |
| 电源: | 220V 50Hz 单相 |
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