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法国阿尔卡特ASM142氦质谱检漏仪

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产品名称: 法国阿尔卡特ASM142氦质谱检漏仪
产品型号: ASM142
产品厂商: 其它品牌


简单介绍

SM142氦质谱检漏仪是法国ALCATEL公司*新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。该检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。

法国阿尔卡特ASM142氦质谱检漏仪的详细介绍

简介:
ASM142氦质谱检漏仪是法国ALCATEL公司*新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。
该检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
符合美国真空标准AVS2.1 以及国际标准ISO3530的标准。内置式标准漏孔,带自动温度补偿系统。开机5分钟后完成全部准备工作,可以开检。数显工作界面;数字显示漏率,带音频报警。所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护:防止大气突然冲入。
技术规格:
 
灵敏度:
3.0×10-11mbar.l/s
 
漏率显示范围:
2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
 
达到检漏的时间(空盒时):
小于30秒
 
发射电流显示:
0.2—2mA
 
检漏口对氦气的抽速:
1.3/
 
启动时间:
小于5分钟
 
接口尺寸:
DN 25 KF
 
外观尺寸:
510´343´428mm
 
重量:
56Kg
 
电源:
220V 50Hz 单相
 
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