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粗抽泵之干泵、复合干泵系列
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产品名称:
粗抽泵之干泵、复合干泵系列
产品型号:
干泵、复合干泵系列
产品厂商:
其它品牌
简单介绍
ALCATEL系列干式真空泵已在半导体行业成功应用了近十年，阿尔卡特的多罗茨技术，使其在其他领域的使用得到认可。在运行时无须润滑和密封，可以提供15-1800m³/h的抽速。普通干泵主要有ACP系列2和ACP120系列：
粗抽泵之干泵、复合干泵系列的详细介绍
ALCATEL系列干式真空泵已在半导体行业成功应用了近十年，阿尔卡特的多罗茨技术，使其在其他领域的使用得到认可。在运行时无须润滑和密封，可以提供15-1800m³/h的抽速。普通干泵主要有ACP系列2和ACP120系列：
ACP系列2真空泵组包含：ACP15、ACP28、ACP40型
ACP120真空泵有2种型号可供选择：标准型、G型
技术参数
描述 | 单位 | ACP15(G) | ACP28(G) | ACP40(G) | ACP120(G) |
*大抽速 | m³/h cfm | 14 8.2 | 27 18 | 37 22 | 95 66 |
极限真空度 | Mbar | 5*10-² | 3*10-² | 3*10-² | 3*10-² |
电源电压 | V | 90到254-50/60Hz | 200到480-50/60Hz |
功率 | W | 600 | 1200 | 1500 |
重量 | KG | 23 | 30 | 32 | 205 |
尺寸 | mm | 514*190*270 | 647*193*322 | 840*370*505 |
ADP/ADS系列2产品的三种型号可满足不同真空要求，环境清洁的工艺应用可选择LM型，轻型或中型应用要求可选择P型，H型可供苛刻要求的工艺环境选择。许多半导体工业的主要制造商已经选择这一产品，大大缩短了计划外停工期，从而节约了运行成本，提高了利润率。
技术参数
描述 | 单位 | ADP122 | ADS602 | ADS1202 | ADS1802 |
*大抽速（50Hz） | m³/h cfm | 95 55．8 | 480 282 | 1050 617 | 1700 1000 |
极限真空度 | mbar | 3*10-² | 2*10-3 | 2*10-3 | 9*10-4 |
冷却水流量 | L/mn | 1 | 1 | 1.3 | 5 |
功率 | W | 1500 | 3000 | 5200 | 7500 |
重量 | KG | 243 | 378 | 522 | 540 |
尺寸 | mm | 830*390*580 | 830*390*875 | 995*390*985 | 1110*390*985 |
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