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高真空之复合式分子泵ATH 系列
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产品名称:
高真空之复合式分子泵ATH 系列
产品型号:
ATH 系列
产品厂商:
其它品牌
简单介绍
根据从涡轮分子级到霍尔维克分子牵引级的排气，阿尔卡特ATH系列都竭诚为您提供高抽速、低进气口压力以及高排气压力型号齐全的复合式分子泵。这些真空泵在薄膜泵或干泵（多级罗茨泵）作为前级泵的支持下，可提供洁净的真空（无碳氢化合物及颗粒污染）。 抽速范围从30到300L/S。
高真空之复合式分子泵ATH 系列的详细介绍
根据从涡轮分子级到霍尔维克分子牵引级的排气，阿尔卡特ATH系列都竭诚为您提供高抽速、低进气口压力以及高排气压力型号齐全的复合式分子泵。这些真空泵在薄膜泵或干泵（多级罗茨泵）作为前级泵的支持下，可提供洁净的真空（无碳氢化合物及颗粒污染）。抽速范围从30到300L/S。
技术参数
描述 | 单位 | ATH31+ | ATH200 | ATH300 |
入口法兰 | | DN63 | DN100 | DN100（DN160） |
*大抽速 | N2 l/S He l/S | 30 20 | 200 130 | 250(300) 215(240) |
极限真空度 | mbar | < 5*10-10 | < 5*10-10 | < 5*10-10 |
推荐使用的前级泵 | | PPM、ACP、AMD | PPM、ACP、AMD | PPM、ACP、AMD |
方向 | | 任意 | 任意 | 任意 |
转速 | PPM | 42000 | 36000 | 42000 |
启动时间 | min. | 2 | < 6 | < 3.5 |
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